| สถานที่กำเนิด: | จีน |
|---|---|
| ชื่อแบรนด์: | BAXIT |
| ได้รับการรับรอง: | CE |
| หมายเลขรุ่น: | BXT-MPCVD |
| จำนวนสั่งซื้อขั้นต่ำ: | 1(สั่งขั้นต่ำ) |
| ราคา: | USD149080- 150000Set|1 Set/Sets(Min. Order) |
| เวลาการส่งมอบ: | 5-8 วันทำงาน |
| เงื่อนไขการชำระเงิน: | L/C, T/T, D/A, D/P |
| สามารถในการผลิต: | 5 |
| ความถี่ในการทำงาน: | 2450MHz | กำลังขับ: | 0.1 ~ 6 kW ปรับได้อย่างต่อเนื่อง |
|---|---|---|---|
| ความเสถียรของพลังงาน: | ดีกว่า ±1% (@ จัดอันดับสถานะ) | อินเทอร์เฟซของท่อนำคลื่นเอาท์พุต: | BJ-26/22 พร้อมหน้าแปลนมาตรฐาน FD-26/22 |
| กำลังไฟเข้า: | 380VAC/50Hz, 3 เฟส 5 สาย, 11kW | การไหลของน้ำหล่อเย็น: | 18L/นาที |
| ค่าสัมประสิทธิ์คลื่นนิ่งของระบบ: | VSWR ≤ 1.5 | ไมโครเวฟรั่ว: | ได้มาตรฐานระดับประเทศ |
| ขนาดและโหมดการทำงาน: | Φ200 x 300 (สูง) โหมด TM | ||
| เน้น: | เครื่องปลูกเพชร MPCVD,เครื่องปลูกเพชรแบบมืออาชีพ,เครื่องปลูกเพชร CVD |
||
| เครื่องกำเนิดและระบบไมโครเวฟ | ความถี่ในการทำงาน | 2450MHz |
| กำลังขับ | 0.1 ~ 6 kW ปรับได้อย่างต่อเนื่อง | |
| ความเสถียรของพลังงาน | ดีกว่า ±1% (@ จัดอันดับสถานะ) | |
| อินเทอร์เฟซของท่อนำคลื่นเอาท์พุต | BJ-26/22 พร้อมหน้าแปลนมาตรฐาน FD-26/22 | |
| กำลังไฟเข้า | 380VAC/50Hz, 3 เฟส 5 สาย, 11kW | |
| การไหลของน้ำหล่อเย็น | 18L/นาที | |
| ค่าสัมประสิทธิ์คลื่นนิ่งของระบบ | VSWR ≤ 1.5 | |
| ไมโครเวฟรั่ว | ได้มาตรฐานระดับประเทศ | |
| ช่องระบายสูญญากาศด้วยไมโครเวฟ | ขนาดและโหมดการทำงาน | Φ200 x 300 (สูง) โหมด TM |
| พื้นที่สะสมที่มีประสิทธิภาพ | Φ50mm | |
| ช่วงการควบคุมแรงดัน | 0.5KPa~30KPa | |
| ความแม่นยำในการควบคุมแรงดัน | ±15Pa | |
| การได้มาซึ่งสูญญากาศ | การเติบโตของผลึกเดี่ยว | อัตราการเติบโต 10-15μm/H ความหนาเติบโตเดียว ≥ 1.6mm |
| คุณภาพผลึกเดี่ยว | ใต้ตาเปล่าแทบไม่มีตำหนิ | |
| ระบบสูญญากาศ | โหมดระเบิด | เติม N2 |
| องศาสูญญากาศขั้นสูงสุด | ดีกว่า8×10-4Pa | |
| อัตราการรั่วไหลของสูญญากาศ | ≤10-9pA.m3/s | |
| ความดันเพิ่มขึ้น | แรงดันเฉลี่ยที่เพิ่มขึ้น 24 ชั่วโมงน้อยกว่า 1Pa/H |
| ระบบการไหลของมวลก๊าซ | ความแม่นยำ | 2% -100% FS, แรงดันขาเข้า 0.2-0.3Mpa |
| ประเภทและช่วงของแก๊ส | H2(1SLM),CH4(100SCCM),O2(10SCCM),N2(20SCCM) | |
| ระบบเวทีตัวอย่าง | เส้นผ่านศูนย์กลางของแท่นตัวอย่าง | Φ60mm, ระบายความร้อนด้วยน้ำ; |
| ช่วงการปรับตัวอย่าง โต๊ะ |
0~15mm | |
| ช่วงการปรับจานช่อง | 0~60mm | |
| การวัดอุณหภูมิพื้นผิว | การวัดอุณหภูมิอินฟราเรด พิสัย |
600 ~ 1200 ℃ (การวัดอุณหภูมิอินฟราเรด) |
| ความแม่นยำในการควบคุมอุณหภูมิ | ความแม่นยำในการควบคุมอุณหภูมิ± 5 ℃; | |
| ช่วงควบคุมของพื้นที่อุณหภูมิคงที่ | ความแตกต่างของอุณหภูมิของแต่ละจุดของแพลตฟอร์มโมลิบดีนัม≤30℃ | |
| อินเทอร์เฟซอุปกรณ์ | น้ำเข้าและออก | สายนอก G1" |
| การเชื่อมต่อแก๊ส | สายนอก VCR 1/4" | |
| อินเตอร์เฟซการปล่อยไอเสีย | สายนอก 3/4" | |
| สายไฟ | TB4506 | |
| ความต้านทานของฉนวน | ≥5MΩ | |
| ความน่าเชื่อถือ | เวลาทำงานต่อเนื่องและมีเสถียรภาพภายใต้สภาวะปกติต้องไม่น้อยกว่า 24H | |
| แหล่งจ่ายไฟทั้งหมด | 380VAC±5%/50Hz,3phase5wire,13kW | |
| น้ำหล่อเย็นทั้งหมด | 34L/min น้ำอ่อนสะอาด อุณหภูมิน้ำเข้า 20℃±5℃ แรงดันน้ำ 0.2~0.4MPa | |
| ขนาด | ~1.95(L)x0.8(W)x1.90(H)m | |
